固态传感器、执行器及微系统研讨会中硅基器件演讲论文的比例
从过去12年来的演讲主题可以清晰的看出，硅材料微型器件的学术研究热潮已经开始逐渐消退。学术研究人员现在开始专注于开发聚合物和纸基微型器件。利用这些材料开发的器件，不仅工艺环保，而且制作设备简单、成本较低。相对硅材料，它们大幅缩减了研发经费预算。许多聚合物和纸基微型器件的创新都指向了医疗应用，对该领域来说，生物相容性和材料的柔性是基本要求。
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