10月26日，由中华人民共和国科学技术部、中国科学院、江苏省人民政府主办的“2016传感器与MEMS技术产业化国际研讨会暨科研成果产品展”与“中国国际纳米技术产业博览会（CHInano2016 Conference & Expo）”在苏州国际博览中心同期联合举办。
埃德万斯展台
北京埃德万斯离子束技术研究所有限公司（以下简称：埃德万斯）首次在纳博会上盛大亮相，并全面展示了由其自主研发的设备制成的各类样品，包括蓝宝石基底Si膜、Ti膜、Pt膜及10μm厚铝膜；应用于高频宽带光学通信的AlN膜；应用于可穿戴设备、柔性集成电路的柔性材料镀金属薄膜；应用于高端新型电子元器件的合金薄膜电阻；应用于航天、导弹、新型雷达的高温超导射频器件；以及微机械器件等。
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