埃德万斯发言人殷睿婷女士
同时,在本次国际研讨会上,埃德万斯发言人殷睿婷女士还发表了题为“Application of Ion Beam in Non-silicon MEMS”(离子束技术在非硅MEMS中的应用)的英文演讲。演讲中提到,随着应用场景的复杂化、终端产品的多样化,硅MEMS传感器应用范围越来越受局限,众多国际知名厂商开始注重新材料、新工艺、新技术的开发,国内外MEMS呈现从“硅”到“非硅”的发展趋势。
据麦姆斯咨询报道,在近些年的“固态传感器、执行器及微系统研讨会”上(The Solid State Sensors, Actuators and Microsystems Workshop,是最高水平MEMS新技术的展示舞台,该国际研讨会是MEMS领域最具竞争力的会议之一),出现了令硅材料从业者感到不安的趋势——关于硅材料技术的论文数量逐年降低。在2016年6月的研讨会上,仅有53%的演讲论文是关于硅材料器件的(只要器件中包含了硅材料,无论是作为被动基底还是活性材料)。
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